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本发明提供一种纯相位液晶空间光调制器校准平台，包括：激光发生模块，用于产生原始激光束；分光镜，设置在原始激光束的光路上，分光镜用于将激光发生模块发射的激光分为第一激光束和第二激光束；反射镜，设置在第一激光束的光路上，反射镜用于将第一激光束反...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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