下载一种电镀装置及电镀方法的技术资料

文档序号:28738672

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本发明公开了一种电镀装置及电镀方法,该电镀装置包括用于对生产板进行电镀的电镀单元,所述电镀单元包括用于朝向所述生产板喷镀电解液的电解液通道和设置于所述电解液通道外表面的电镀组件,所述电镀组件包括设置于所述电解液通道外表面的阳极和设置于阳极内...
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