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垂直谐振器式发光元件制造技术
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文档序号:28731614
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本发明包括:基板;第一多层膜反射镜,其形成在基板上;第一半导体层,其形成在第一多层膜反射镜上并且具有第一导电类型;发光层,其形成在第一半导体上;第二半导体层,其形成在发光层上,具有与第一半导体层的第一导电类型相反的第二导电类型,并且在第二半...
该专利属于斯坦雷电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过斯坦雷电气株式会社授权不得商用。
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