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提供了一种冷却装置，该冷却装置能够通过使用涡流管来控制反应器特别是气体供应装置例如喷头的上部的温度。冷却装置可供应的冷却气体的温度低于加热到高温的气体供应装置的温度，从而容易地控制气体供应装置的温度。并提供一种包括该冷却装置的气体供应装置和...
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