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本发明提供一种负压式硅片传送流线及硅片检测分选设备，其中，负压式硅片传送流线包括：主传送流线、负压顶升装置以及分传送流线；主传送流线包括若干传送单元，各传送单元沿输送方向依次间隔设置，任意相邻的两个传送单元之间设置有负压顶升装置，任一负压顶...
该专利属于苏州天准科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天准科技股份有限公司授权不得商用。

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