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本发明公开了一种升降式芯片检测设备及方法,其中检测设备包括机架及安装在机架上的双轴移动模块、检测探针模块、积分球升降模块,双轴移动模块上设置有芯片升降模块,检测探针模块上设置有多组检测探针,芯片升降模块用于承载需要检测的芯片并将芯片升降到预...该专利属于深圳市泰克光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市泰克光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种升降式芯片检测设备及方法,其中检测设备包括机架及安装在机架上的双轴移动模块、检测探针模块、积分球升降模块,双轴移动模块上设置有芯片升降模块,检测探针模块上设置有多组检测探针,芯片升降模块用于承载需要检测的芯片并将芯片升降到预...