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一种基于锂掺杂氧化铌的多功能存储器件及其制备方法技术
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下载一种基于锂掺杂氧化铌的多功能存储器件及其制备方法的技术资料
文档序号:28713060
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本发明提供了一种基于锂掺杂氧化铌的多功能存储器件及其制备方法,该多功能存储器件包括:底电极,转变层和顶电极;转变层的材料为锂掺杂氧化铌薄膜。本申请的多功能存储器件,转变层的材料为锂掺杂氧化铌薄膜。且氧化铌是一种良好的相变材料,制备工艺简单;...
该专利属于湖北大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖北大学授权不得商用。
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