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本公开涉及集成电路技术领域,提供了一种基于参数化单元的掩模信息处理方法,其首先通过获取数据库中半导体器件的参数化单元的图形数据,该参数化单元的图形数据包括前述半导体器件在不同结构层的工艺图形信息;其次根据该参数化单元的图形数据构建处理图形掩...该专利属于北京华大九天科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京华大九天科技股份有限公司授权不得商用。
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本公开涉及集成电路技术领域,提供了一种基于参数化单元的掩模信息处理方法,其首先通过获取数据库中半导体器件的参数化单元的图形数据,该参数化单元的图形数据包括前述半导体器件在不同结构层的工艺图形信息;其次根据该参数化单元的图形数据构建处理图形掩...