下载一种提高Al2O3镀膜钝化效果的方法的技术资料

文档序号:28702465

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本发明公开了一种提高Al2O3镀膜钝化效果的方法,涉及太阳能电池片生产技术领域,所述方法包括:在硅片表面沉积Al2O3之后,进行红外加热的步骤。本发明通过使用红外加热的瞬间加热功能,可以诱导出大量的Al
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