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本发明公开了一种微纳模具的制作方法,该制作方法包括:在基底上涂布一层导电光刻胶,导电光刻胶包括光刻胶和导电浆;对导电光刻胶进行化学刻蚀并形成具有图案的凹槽;在导电光刻胶上形成一层金属层,并在金属层上形成与凹槽对应的凸起;将金属层与导电光刻胶...该专利属于苏州维业达触控科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州维业达触控科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种微纳模具的制作方法,该制作方法包括:在基底上涂布一层导电光刻胶,导电光刻胶包括光刻胶和导电浆;对导电光刻胶进行化学刻蚀并形成具有图案的凹槽;在导电光刻胶上形成一层金属层,并在金属层上形成与凹槽对应的凸起;将金属层与导电光刻胶...