下载图案模拟方法的技术资料

文档序号:2869975

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本发明提供一种能容易地发出分划板数据及曝光用数据的设计错误的图案模拟方法。分划板数据是将在玻璃基板上形成的全部图案分割成多个区域的每个分割区域的分划板图案。曝光用数据表示将分划板图案拍摄在玻璃基板的哪个位置上。利用分划板数据及曝光用数据在玻...
该专利属于东芝松下显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东芝松下显示技术有限公司授权不得商用。

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