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文档序号:28687112
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半导体装置具备在主面界定出元件区域(110)和包围元件区域(110)的周围的周边区域(120)的半导体基体(10),具有配置于槽的内壁面的绝缘膜(21)、以及在槽的内部配置于绝缘膜(21)之上的导电体膜(22)的外周沟槽(20)包围元件区域...
该专利属于三垦电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三垦电气株式会社授权不得商用。
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