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一种收纳装置(100)，其为了从将多个基板(W)以能够抽出的方式层叠而收容的盒(10、20)中将基板(W)抽出以供于处理工序，而对盒(10、20)进行收纳，该收纳装置(100)具备：载置部(110)，其供盒(10、20)以能够装卸的方式载置...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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