下载半导体制造方法以及半导体制造装置的技术资料

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一种利用半导体制造装置(100)的半导体制造方法,包含:配置步骤,在包含氧化铝的基材(1)的一端配置发生氧化反应的阳极(2),且在基材(1)的另一端配置发生还原反应的阴极(3);加热步骤,在使阳极(2)与基材(1)的一端接触,且使阴极(3)...
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