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半导体制造方法以及半导体制造装置制造方法及图纸
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文档序号:28687058
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一种利用半导体制造装置(100)的半导体制造方法,包含:配置步骤,在包含氧化铝的基材(1)的一端配置发生氧化反应的阳极(2),且在基材(1)的另一端配置发生还原反应的阴极(3);加热步骤,在使阳极(2)与基材(1)的一端接触,且使阴极(3)...
该专利属于株式会社UACJ所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社UACJ授权不得商用。
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