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本发明的多孔质陶瓷含有锆酸钇和氧化钇，以其中至少任意一种为主成分。半导体制造装置中的簇射板或插塞等的半导体制造装置用构件由上述多孔质陶瓷形成。...
该专利属于京瓷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过京瓷株式会社授权不得商用。

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