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本发明提供了一种使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法，通过该等离子体蚀刻方法能够有效地产生具有火焰形状的图案部。使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法包括以下步骤：通过在蚀刻基板的一个表面上执行第一等离子体蚀刻，以在通过金属掩模暴露的蚀刻基板的一个表面的...
该专利属于株式会社LG化学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社LG化学授权不得商用。

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