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本发明公开了声表面波谐振器,包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器,所述压电基板上具有凹陷部并设有用于填充所述凹陷部的减速层,所述减速层与所述叉指换能器的电极接触以降低在接触位置所在区域的声速;所述接触位置在非中心区域。本发明还...该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了声表面波谐振器,包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器,所述压电基板上具有凹陷部并设有用于填充所述凹陷部的减速层,所述减速层与所述叉指换能器的电极接触以降低在接触位置所在区域的声速;所述接触位置在非中心区域。本发明还...