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本申请公开的一种薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括：衬底和压电三明治结构，所述衬底具有凹槽，所述压电三明治结构至少部分悬设置于所述凹槽的上方，所述凹槽内设置有支撑结构，所述压电三明治结构与所述支撑结构不直接相接，当所述薄膜体声波谐振...
该专利属于杭州左蓝微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州左蓝微电子技术有限公司授权不得商用。

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