下载有源区的制备方法及半导体器件的技术资料

文档序号:28679327

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本发明涉及半导体技术领域,提出一种有源区的制备方法及半导体器件。该制备方法包括:在基底的预设区域形成多条按照预设规律排布的有源区,有源区具有相同的长度;通过第一掩模板对有源区进行第一次修调,以形成第一子有源区,第一子有源区的长度小于等于有源...
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