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本发明公开了一种对准系统的监控和数据的筛选方法，通过对单片晶圆进行标记，并进行量测，得到第一量测数据；依据得到的第一量测数据进行平均值和标准差值的计算；利用第一量测数据利用得到的平均值和标准差值进行范围界定，并将超出平均值+多倍标准差值的数...
该专利属于南京诚芯集成电路技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京诚芯集成电路技术研究院有限公司授权不得商用。

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