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提供一种利用了在制造工艺中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组的预测装置、预测方法及记录介质。该预测装置包括：取得部，取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组、和对该对象物进行处理时取得的装置状态信息；以及...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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