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本发明涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，包括传感器晶圆级测试及传感器成品测试。主要包括MEMS加速度传感器芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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