MEMS电容式加速度计芯片的性能自动测试方法技术

本发明专利技术涉及微电子机械系统领域，尤其涉及一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，包括传感器晶圆级测试及传感器成品测试。主要包括MEMS加速度传感器芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)；测试夹具用来固定传感器晶圆也可以用来固定成品传感器，可以实现自主检测，判断夹具探针是否磨损，判断接触是否合格；一套可编程集成控制系统，包括了ARM控制板，和Labview上位机控制程序；电机系统用于控制装置的偏转角度，配合自动PID技术，可以实现千分之一度角度的偏转；高精度LCR测试仪可以检测传感器的静态动态参数，结合上位机程序实现自动化检测。

【技术实现步骤摘要】
MEMS电容式加速度计芯片的性能自动测试方法
本专利技术涉及一种传感器芯片测试系统，特别是一种适用于微机械电容式加速度计芯片性能参数的测试方法，属于微电子机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS)领域。
技术介绍
MEMS传感器作为具有代表性的微传感器，越来越多的被应用于消费电子、油气勘探、航空航天、国防工业等领域。而高效率自动化的芯片的测试一直是MEMS传感器产量的瓶颈，其主要原因是MEMS是一种微机械结构，在温漂、零漂上和传感器的一致性上存在的许多差异，每个传感器都需要依次测试每项指标。对于加速度计来说，C-V曲线是每个传感器的重要测量参数，例如单轴电容式加速度计的感应电容由可动极板与固定极板组成，在接收到外界加速度时，通过可动极板的平移来改变其与固定极板的间距，产生电容差值变化量，就需要测试top和bottom层数据，需要测试不同环境下(一般是-40℃～80℃)下的C-V曲线，需要测试不同加速度下的输出曲线。传统的测试方法是逐个对传感器进行测试，这样会导致占用的测试时间过长，并且是人为测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化性能测试系统，主要包括MEMS加速度计芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)，其特征在于：MEMS加速度计芯片测试夹具(I)与ARM控制板(2)通过4个探针触点(102)相连，ARM控制板(2)与高精度LCR测试仪(5)通过4线50欧姆测试线(501)相连，PC上位机控制系统(3)对整个系统进行控制、测试、数据分析，实现加速度计芯片的自动化测试。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化性能测试系统，主要包括MEMS加速度计芯片测试夹具(1)、ARM控制板(2)、PC上位机控制系统(3)、电机系统(4)、高精度LCR测试仪(5)，其特征在于：MEMS加速度计芯片测试夹具(I)与ARM控制板(2)通过4个探针触点(102)相连，ARM控制板(2)与高精度LCR测试仪(5)通过4线50欧姆测试线(501)相连，PC上位机控制系统(3)对整个系统进行控制、测试、数据分析，实现加速度计芯片的自动化测试。


2.根据权利要求1所述的适用于MEMS电容式加速度计芯片的自动化测试系统，其特征在于：所述MEMS加速度计芯片测试夹具(1)是由铝合金外壳(101)、和Ni/Au(镍/金)探针(102)组合而成。


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【专利技术属性】
技术研发人员：沈烽，徐好，任杨波，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33