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本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方；所述器件层1由框架式结构4和弹性...该专利属于西北工业大学;中国电力科学研究院有限公司;国网山东省电力公司济宁供电公司所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学;中国电力科学研究院有限公司;国网山东省电力公司济宁供电公司授权不得商用。