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本发明涉及一种便于更换坩埚的高通量薄膜制备装置及其应用，包括蒸发腔与存储腔；所述蒸发腔通过软连接管路与存储腔连通；所述蒸发腔与存储腔的连通管路设置有截止件；所述蒸发腔内设置有蒸发源以及用于放置坩埚的凹槽；所述存储腔内设置有坩埚存储架以及机械...
该专利属于宁波星河材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波星河材料科技有限公司授权不得商用。

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