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本发明涉及一种Ti‑Mg纳米多层合金薄膜及其制备方法。本发明的Ti‑Mg纳米多层合金薄膜由多弧离子镀技术制备，其中原材料靶材选用工业纯度为99.9％的钛靶和99.99％的镁靶。本发明制备的新型Ti‑Mg纳米多层合金薄膜，通过交替沉积方法，调...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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