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本发明公开了一种嵌段有机硅苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法，包括：1)制备氨基封端乙烯基硅油；2)制备含苯并咪唑硫醇单体，即2‑(4‑(1‑甲基苯并咪唑‑2‑基)苯基)乙硫醇；3)硫醇单体与氨基封端乙烯基硅油进行巯基‑乙烯基点击反应制备聚硅氧烷接...
该专利属于张玉花所有，仅供学习研究参考，未经过张玉花授权不得商用。

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