下载一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔的技术资料

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本实用新型公开了一种多晶硅生产工艺中氢气纯化用吸附塔,属于多晶硅生产技术领域,包括吸附塔主体,吸附塔主体上方设置有第一气体进出口,吸附塔主体下方设置有第二进出气口,吸附塔主体竖直方向设置有多个加热管,加热管为下端封口的中空管,加热管内设置有...
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