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光群雷射科技股份有限公司
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文档序号:28638720
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本实用新型公开一种曝光设备。曝光设备用来对设置于一金属滚轮的一外表面的一光阻层曝光,使光阻层形成一图案化光阻层,曝光设备包括间隔地环绕设置于金属滚轮的一环状光罩以及呈环形并间隔地设置于环状光罩的一曝光装置,并且环状光罩以及曝光装置均能用来沿...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。
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