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电容式换能装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:28633552
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本发明公开了一种电容式换能装置,包括基板、变化层、下电极、振荡元件、上电极以及多个封孔结构。变化层配置于基板。下电极配置于变化层。下电极的结构形状依据变化层而变化。振荡元件包括振荡部、连接部以及多个穿孔。振荡部藉由连接部连接于下电极以形成空...
该专利属于友达光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。
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