电容式换能装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电容式换能装置，包括基板、变化层、下电极、振荡元件、上电极以及多个封孔结构。变化层配置于基板。下电极配置于变化层。下电极的结构形状依据变化层而变化。振荡元件包括振荡部、连接部以及多个穿孔。振荡部藉由连接部连接于下电极以形成空腔。上电极配置于振荡部，振荡部位于上电极与下电极之间。多个封孔结构配置于振荡元件并分别沿第一方向延伸穿过多个穿孔，其中第一方向垂直于基板的延伸方向，且第二方向垂直于第一方向。在使用电容式换能装置时，变化层的顶面非平面。

【技术实现步骤摘要】
电容式换能装置及其制造方法
本专利技术是有关于一种换能装置及其制造方法，且特别是有关于一种电容式换能装置及其制造方法。
技术介绍
在目前超声换能器的发展中，可分为块材压电陶瓷换能器(BulkPiezoelectricCeramicsTransducer)、电容式微机械换能器(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer,CMUT)以及压电式微机械超音波感测(PiezoelectricMicromachinedUltrasonicTransducer,PMUT)，其中又以块材压电陶瓷换能器最为主要广泛使用。然而在未来的趋势中，由于微机械超声换能器通过微机电系统(MicroelectromechanicalSystems,MEMS)工艺制备，因此与集成电路有较大的工艺兼容性，从而成为微型化超声系统最佳的实现方案。因此可进一步实现大规模的制备和封装，应用在无损检测、医学影像、超声显微镜、指纹识别或物联网等领域。然而，在目前的电容式微机械换能器的结构中，使用平坦底部电极。因此，当进行操作施加电压时，仅部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式换能装置，其特征在于，包括：/n基板；/n变化层，配置于所述基板；/n下电极，配置于所述变化层，所述下电极的结构形状依据所述变化层而变化；/n振荡元件，包括振荡部、连接部以及多个穿孔，所述振荡部藉由所述连接部连接于所述下电极以形成空腔；/n上电极，配置于所述振荡部，所述振荡部位于所述上电极与所述下电极之间；以及/n多个封孔结构，配置于所述振荡元件并分别沿第一方向延伸穿过所述多个穿孔，其中所述第一方向垂直于所述基板的延伸方向，且第二方向垂直于所述第一方向，在使用所述电容式换能装置时，所述变化层的顶面非平面。/n

【技术特征摘要】
20200821 TW 1091285061.一种电容式换能装置，其特征在于，包括：
基板；
变化层，配置于所述基板；
下电极，配置于所述变化层，所述下电极的结构形状依据所述变化层而变化；
振荡元件，包括振荡部、连接部以及多个穿孔，所述振荡部藉由所述连接部连接于所述下电极以形成空腔；
上电极，配置于所述振荡部，所述振荡部位于所述上电极与所述下电极之间；以及
多个封孔结构，配置于所述振荡元件并分别沿第一方向延伸穿过所述多个穿孔，其中所述第一方向垂直于所述基板的延伸方向，且第二方向垂直于所述第一方向，在使用所述电容式换能装置时，所述变化层的顶面非平面。


2.如权利要求1所述的电容式换能装置，其特征在于，所述变化层的所述顶面具有凹槽结构。


3.如权利要求1所述的电容式换能装置，其特征在于，所述变化层的所述顶面具有梯度结构。


4.如权利要求1所述的电容式换能装置，其特征在于，所述变化层的所述顶面为朝所述基板凹下的曲面。


5.如权利要求1所述的电容式换能装置，其特征在于，所述变化层为平坦式电容式微机械超声换能器，且在施加电压时，所述变化层的顶面朝所述基板弯曲。


6.如权利要求5所述的电容式换能装...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈政翰，黄泰翔，李文渊，邱品翔，邱炜茹，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71