下载一种I-PID真空抽速调节装置的技术资料

文档序号:28631747

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本实用新型公开了一种I‑PID真空抽速调节装置,包括固定壳体,所述固定壳体的外表面一侧设置有真空泵,所述真空泵与固定壳体共同固定连接有第一导管,且第一导管贯穿固定壳体的外表面延伸至内侧。本实用新型中,当真空泵通过第一导管、可控电磁阀与第二导...
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