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一种增强THz辐射的变周期超晶格结构及其制备方法技术
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文档序号:28629574
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本发明涉及一种增强THz辐射的变周期超晶格结构及其制备方法,解决的是制备的材料电阻率和迁移率低下太赫兹辐射低的技术问题,通过采用包括重叠设置的半绝缘InP衬底、InP缓冲层、超晶格有源层;超晶格有源层由(GaAs)...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。
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