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具有薄半导体管芯的半导体器件制造技术
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文档序号:28628972
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一种半导体器件,包括半导体管芯,该半导体管芯包括前侧表面、与前侧表面相对的背侧表面、以及侧面。背侧金属化层沉积在背侧表面上,并横向向外突出超过侧面。侧面保护层覆盖侧面。...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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