下载用于晶圆级测试的芯片和晶圆的技术资料

文档序号:28628805

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本申请涉及晶圆级测试领域,具体涉及用于晶圆级测试的芯片和晶圆。其中,用于晶圆级测试的芯片,用于晶圆级测试的芯片包括:半导体衬底,半导体衬底包括相对的正面和和背面;半导体器件有源区,半导体器件有源区形成于半导体衬底的正面;互连层,互连层形成于...
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