下载半导体结构的制造方法及半导体结构的技术资料

文档序号:28628752

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本发明实施例提供一种半导体结构的制造方法及半导体结构,半导体的制造方法包括:提供基底;在所述基底上形成层叠设置的电接触层、底部阻挡层和导电层;所述导电层的材料包括钼。本发明实施例能够减小半导体结构的电阻,提高半导体结构的导电性能。...
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