温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种衬底的加工方法，该方法包括：在衬底的第一表面设置介电薄膜，介电薄膜的相对介电常数大于所述衬底的相对介电常数；将所述衬底设置于静电吸盘上，所述衬底的所述第一表面朝向所述静电吸盘；对所述静电吸盘施加预定的电势，使所述衬底被所述静电...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。