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一种晶圆玻璃粉擦粉装置，属于晶圆加工辅助设备技术领域。其特征在于：加压装置安装在往复运动装置上，并随其往复运动，加压装置的底部设置有压紧部，托盘（15）设置在压紧部的正下方，托盘（15）上设置有用于对晶圆固定的吸附部。本晶圆玻璃粉擦粉装置的...该专利属于山东才聚电子科技有限公司;阳信岑祥电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东才聚电子科技有限公司;阳信岑祥电子科技有限公司授权不得商用。