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本发明公开了一种晶圆光刻机，其结构包括机体、调节装置、显示屏、通风机、指示灯、工作腔、散热口，本发明在进行使用时，通过平滑片与羊角斜块配合将晶圆芯片卡持在两块卡持凹盘之间，保证晶圆芯片可以稳定定位在两块卡持凹盘之间，使得晶圆芯片与载台之间存...
该专利属于广州玩聚玩具有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州玩聚玩具有限公司授权不得商用。

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