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本发明实施例涉及一种利用涂布有光刻胶的过期空白原材制造光罩的方法，包括以下步骤：使用涂布有光刻胶且已过期的空白原材，按照常规的黄光制程进行曝光、显影、蚀刻和脱膜作业；根据光刻胶确定烘烤参数，并根据所述烘烤参数在曝光和显示两工序之间或者在显影...
该专利属于深圳市路维光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市路维光电股份有限公司授权不得商用。

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