下载中红外集成双通道滤光片的制备方法的技术资料

文档序号:28620490

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本发明为一种中红外集成双通道滤光片的制备方法,其克服了现有技术中光谱仪微型化程度得不到保证以及不能实现任意光谱或者大范围光谱分光的问题,本发明能够完成任意光谱或大范围光谱的分光,微型化与集成化程度更高。本发明包括以下步骤:S1、基片清洗后,...
该专利属于西安工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安工业大学授权不得商用。

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