温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种全区域影像测试方法与架构，用于对具有多个待测元件的12英寸晶圆，使用一探针测试装置，探针测试装置由多个测试单元所构成，测试单元数目为64个且呈对称分布，每个测试单元设有一光源单元及一影像撷取卡。在执行测试方法时，其步骤包括由移动平台承载...
该专利属于松翰股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过松翰股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。