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本发明一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载方法属于精密测试计量、微机电系统、IC芯片测试及探针卡技术领域；该方法首先对被测件反光镀膜，对装载台吸光镀膜，然后在上部参考台与装载台折叠后，被测件待测面向下，贴边沿摆放到装载台框状结构中，再...
该专利属于强一半导体(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体(苏州)有限公司授权不得商用。

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