下载一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器的技术资料

文档序号:28617505

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本发明属于压力和温度检测技术领域,具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器,包括石墨烯敏感层、第一柔性基板、第二柔性基板、第一类叉指形硬化图案层、第二类叉指形硬化图案层、第一复合电极、第二复合电极、互连组件,所述第一类叉指形硬化图案层设...
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