一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器制造技术

本发明专利技术属于压力和温度检测技术领域，具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，包括石墨烯敏感层、第一柔性基板、第二柔性基板、第一类叉指形硬化图案层、第二类叉指形硬化图案层、第一复合电极、第二复合电极、互连组件，所述第一类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的上方，所述第二类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的下方，所述第一柔性基板设置在第一类叉指形硬化图案层的上方，所述第二柔性基板设置在第二类叉指形硬化图案层的下方。本发明专利技术的结构与已有基础结构相比，优化了设计、减少规格种类，有效地提高了结构的通用性、灵敏性、准确性和稳定性。本发明专利技术用于压力和温度的检测。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器
本专利技术属于压力和温度检测
，具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器。
技术介绍
目前市场上出售的各种小型的家用生命体征检查设备往往功能比较单一，当需要做一些常规检查时，比如：体温测量、脉搏次数测量，不得不同时购买几种检测设备，这既增加了购买生命体征检查设备所支付的费用，也使得在检查时需要不断的更换检测设备，令检测过程非常繁琐。另外，上述生命体征检查设备在检查完成后都需要取下来，不适合长期携带，因此不能实时监测使用者的身体状况，无法满足一些特殊人群的需要。例如，在疾病发生前期，人们往往未能及时发现而错过了最佳治疗时期。同时，患有慢性病或者重大疾病的患者通常不能实时了解自身健康状况，也无法知道日常生活习惯及环境因素对疾病产生的影响，因此不能主动管理自身健康。随着柔性电子技术的发展,人们对可穿戴设备的需求日益增长,可穿戴柔性电子器件的研究与发展越来越受到社会的关注。柔性压力和温度传感器广泛应用于柔性电子器件,可用来检测人体的生理活动,包括较大幅度的肢体弯曲、发声、脉搏的跳动和体温的监测,广泛应用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，其特征在于：包括石墨烯敏感层(1)、第一柔性基板(2)、第二柔性基板(14)、第一类叉指形硬化图案层(3)、第二类叉指形硬化图案层(13)、第一复合电极(7)、第二复合电极(20)、互连组件，所述第一类叉指形硬化图案层(3)设置在石墨烯敏感层(1)的上方，所述第二类叉指形硬化图案层(13)设置在石墨烯敏感层(1)的下方，所述第一柔性基板(2)设置在第一类叉指形硬化图案层(3)的上方，所述第二柔性基板(14)设置在第二类叉指形硬化图案层(13)的下方，所述第一复合电极(7)、第二复合电极(20)分别设置在石墨烯敏感层(1)的两侧，所述第一复合电极(7)、...

【技术特征摘要】
1.一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，其特征在于：包括石墨烯敏感层(1)、第一柔性基板(2)、第二柔性基板(14)、第一类叉指形硬化图案层(3)、第二类叉指形硬化图案层(13)、第一复合电极(7)、第二复合电极(20)、互连组件，所述第一类叉指形硬化图案层(3)设置在石墨烯敏感层(1)的上方，所述第二类叉指形硬化图案层(13)设置在石墨烯敏感层(1)的下方，所述第一柔性基板(2)设置在第一类叉指形硬化图案层(3)的上方，所述第二柔性基板(14)设置在第二类叉指形硬化图案层(13)的下方，所述第一复合电极(7)、第二复合电极(20)分别设置在石墨烯敏感层(1)的两侧，所述第一复合电极(7)、第二复合电极(20)均与石墨烯敏感层(1)连接，所述第一复合电极(7)、第二复合电极(20)分别通过互连组件连接有外部检测装置。


2.根据权利要求1所述的一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，其特征在于：所述石墨烯敏感层(1)包括上层氮化硼层(4)、中层石墨烯层(5)和下层氮化硼层(6)，所述中层石墨烯层(5)设置在上层氮化硼层(4)与下层氮化硼层(6)之间。


3.根据权利要求1所述的一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，其特征在于：所述互连组件包括第一引线互连(8)、第二引线互连(19)、第一互连凸点(9)、第二互连凸点(18)、第一互连焊盘(10)、第二互连焊盘(17)、第一引线柱(11)、第二引线柱(16)、第一外部互连电极(12)、第二外部互连电极(15)，所述第一引线互连(8)的一端与第一复合电极(7)连接，所述第一引线互连(8)的另一端通过第一互连凸点(9)与第一互连焊盘(10)连接，所述第一互连焊盘(10)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊强，刘小飞，刘丽丽，李孟委，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：山西;14