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本发明公开一种声表面波应变传感器及其制备方法，其中声表面波应变传感器包括基底，基底包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面上的有源区内形成有叉指换能器以及分别位于所述叉指换能器两侧的第一反射栅和第二反射栅，第二表面对应所述有...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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