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在一种实施方式中，确定次级计量工具相对于初级计量工具的信号调节矢量（步骤５６０）。在（步骤５００），用初级计量工具测量晶片上预定数目的位置外的衍射信号。计量工具可以是偏振光椭圆计、反射计。初级计量工具是一种具有硬件规格说明的计量工具，该硬件...
该专利属于音质技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过音质技术公司授权不得商用。

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