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不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线的形成方法技术
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下载不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线的形成方法的技术资料
文档序号:28610647
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本发明公开一种在有机发光二极管(OLED)像素制造中使用的不包含磷酸的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的金属布线形成方法。具体来讲,涉及一种通过在金属布线的制造工程中将金属膜蚀刻成特定图案而形成金属布线的蚀刻液组合物。上述蚀刻液组合物包...
该专利属于东进世美肯株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东进世美肯株式会社授权不得商用。
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