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一种磁控溅射卷绕设备的镀膜室装置制造方法及图纸
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下载一种磁控溅射卷绕设备的镀膜室装置的技术资料
文档序号:28610559
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本公开的实施例提供了一种磁控溅射卷绕镀膜设备的镀膜室。所述镀膜室包括镀膜辊,用于支撑被供给的基材,以进行镀膜处理;输入导辊,其设置在所述镀膜辊的上游侧,基材经所述输入导辊供给至所述镀膜辊;输出导辊,其设置在所述镀膜辊的下游侧,镀膜处理后的基...
该专利属于广东欣丰科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东欣丰科技有限公司授权不得商用。
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