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本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于环境功能材料和水污染控制技术领域。本发明在Al中掺Si，一定程度上可减小Al的应力，Si可以穿透Al的晶格，抑制Al的结晶，并且原子半径较小的Si占据Al膜中的空位而产生拉伸作用，这...
该专利属于苏州闻道电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州闻道电子科技有限公司授权不得商用。

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